為了降低熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)兩個(gè)鉑電阻之間的影響，傳感器的兩個(gè)探頭選用交織散布的方法，并且在兩個(gè)鉑電阻之間加上隔熱膠，削減由于探頭之間的對(duì)流換熱形成的影響。

能夠看到經(jīng)過(guò)MEMS技能能將兩根鉑電阻絲集成在很小的硅片基體上。封裝后的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)傳感器體積能夠做到很小，減小對(duì)原有流場(chǎng)的破壞，且具有非常好的熱傳導(dǎo)性。

新型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)樣機(jī)，使丈量準(zhǔn)確度由現(xiàn)在的10%進(jìn)步到了1.5%， 達(dá)到了天然氣計(jì)量的準(zhǔn)確度。 流量規(guī)模由現(xiàn)在的1∶40進(jìn)步到了1∶100，使1臺(tái)流量計(jì)的丈量規(guī)模代替了原有3臺(tái)流量計(jì)的組合，進(jìn)步了天然氣流量?jī)x表的功能和功效。 技能方面，達(dá)到以下技能指標(biāo)：

(1)熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)口徑：50mm。

(2)丈量準(zhǔn)確度：1.5級(jí)。

(3)zui大流量：200m3/h。

(4)丈量規(guī)模：1∶100。

(5)呼應(yīng)時(shí)刻：≤100ms。

(6)供電方法：(8~24)VDC。

(7)熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)輸出：RS485接口與計(jì)算機(jī)銜接，調(diào)整相關(guān)的參數(shù)，輸出用戶需求的瞬時(shí)流量、累積流量、實(shí)時(shí)溫度。