熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準(zhǔn)級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。

熱式氣體質(zhì)量流量計根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學(xué)關(guān)系式。 P/△T=K1+K2 f(Q)K3 K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。

熱式氣體質(zhì)量流量計*的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質(zhì)量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質(zhì)而造成的很大的零點漂移，導(dǎo)致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的質(zhì)量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)中的風(fēng)量（速）的實時檢測。

熱式氣體質(zhì)量流量計具有如下特點：

安裝方便，維修簡單雙向檢測，防振動；

多至24點流量測量；

輸出模擬量的校正多點非線性曲線修正；

寬量程比100：1；

流量與溫度同時檢測，切換顯示；

大口徑小流量測量，可做泄露檢測；

采用專有技術(shù)“雙平衡結(jié)構(gòu)”封裝傳感器；

專有高濕、高溫算法，介質(zhì)溫度可達(dá)500℃；

熱式氣體質(zhì)量流量計直接質(zhì)量流量檢測，無需溫度壓力補償。