由于流量是一個(gè)動(dòng)態(tài)量，流量測(cè)量又是一項(xiàng)復(fù)雜的技術(shù)。為準(zhǔn)確計(jì)量流量，必須研究不同流體在不同條件下的流量測(cè)量方法，并提供相應(yīng)的測(cè)量設(shè)備。目前，對(duì)于氣體流量的流量計(jì)量設(shè)備主要有:利用差壓原理測(cè)量的孔板流量計(jì)和V-Cone流量計(jì)；利用渦街和超聲波原理設(shè)計(jì)的超聲波渦街流量計(jì)；利用傳熱學(xué)原理設(shè)計(jì)的熱式質(zhì)量流量計(jì)等。

要對(duì)一復(fù)雜環(huán)控系統(tǒng)的空氣流量進(jìn)行測(cè)量，由1路供氣， 192路排氣管支路組成。總路供氣流量為5 760 kg/h，支路排氣流量?jī)H為30 kg/h，總路和每一支路的流量誤差均要求控制在5 %以內(nèi)。流量越小，誤差越難保證，為此，應(yīng)該盡可能地保證測(cè)量精度。

由于風(fēng)道數(shù)量太多，風(fēng)道截面積較小，為準(zhǔn)確并同時(shí)測(cè)量各風(fēng)道出口流量，專門設(shè)計(jì)了一種的熱式質(zhì)量流量計(jì)，該傳感器測(cè)量部位較小，zui大限度地減小了安裝傳感器后對(duì)風(fēng)道流動(dòng)性能和系統(tǒng)流量分配結(jié)果的影響。并且能達(dá)到同時(shí)測(cè)量的目的，很好地滿足了客戶的要求。

當(dāng)前，常用的熱式質(zhì)量流量計(jì)有恒功率、恒電阻、恒溫差幾種形式，針對(duì)多通道管路系統(tǒng)的特點(diǎn)，本文作者設(shè)計(jì)了一種恒電壓式熱式質(zhì)量流量計(jì)。其測(cè)量探頭中有2個(gè)溫度檢測(cè)元件(鉑電阻):Pt1和，其中，Pt1用于測(cè)量流體介質(zhì)本身的溫度t1，其信號(hào)采集用ADAM4015模塊獲得電阻信號(hào)。

熱式質(zhì)量流量計(jì)輸入恒定電壓后產(chǎn)生一定發(fā)熱量，當(dāng)流體以一定速度流過(guò)時(shí)，會(huì)帶走部分熱量，被帶走熱量的大小與感受到的溫度值相關(guān)。因此，可用于測(cè)量被流體介質(zhì)帶走熱量后的加熱源表面的溫度t2。。由于(信號(hào)由ADAM4017模塊獲得)-之間存在一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系，由此可得到測(cè)量的溫度值。

由于熱式質(zhì)量流量計(jì)流量的變化會(huì)直接影響到發(fā)熱量的散熱程度，進(jìn)而影響到Pt1和Pt2這2個(gè)測(cè)溫元件之間溫差的大小。當(dāng)流過(guò)特定空間的流體流量為0時(shí)，Pt1和Pt2之間的溫差zui大，隨著流量的增加，加熱源被帶走的熱量增加，Pt2所測(cè)溫度降低，與Pt1測(cè)量的溫度之間的溫差減小。

熱式質(zhì)量流量計(jì)穩(wěn)態(tài)時(shí)，發(fā)熱量和散熱量相等，可計(jì)算獲得。由上述對(duì)應(yīng)關(guān)系，2個(gè)溫度檢測(cè)元件之間的溫差與流過(guò)特定空間的質(zhì)量流量之間也是一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系。